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產(chǎn)品分類

Product classification

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產(chǎn)品名稱:超小型粒子計(jì)數(shù)器

發(fā)布時(shí)間:2024-12-13

產(chǎn)品型號(hào):3950

產(chǎn)品特點(diǎn):超小型粒子計(jì)數(shù)器技術(shù)革新,致輕、致小,實(shí)現(xiàn)了嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中 2.83L/min,同時(shí)測(cè)試0.1、0.3μm微小粒子

3950超小型粒子計(jì)數(shù)器的詳細(xì)資料:

超小型粒子計(jì)數(shù)器 產(chǎn)品介紹:


技術(shù)革新,致輕、致小,實(shí)現(xiàn)了嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中2.83L/min,同時(shí)測(cè)試0.1、0.3μm微小粒子4.3英寸彩色觸摸顯示屏可使用附帶軟件在PC上顯示測(cè)試數(shù)據(jù)設(shè)有RS-485、Ethernet、USB通訊接口


品    名塵埃粒子計(jì)數(shù)器
型    號(hào)3950-00
粒子測(cè)量測(cè)試方法光散射法
粒徑通道2粒徑(0.1、0.3μm)
額定流量0.1CFM(2.83L/分)、精度±5%、(符合JIS B9921和ISO21501-4)
測(cè)量時(shí)間6秒~99分59秒(1次測(cè)量時(shí)間)
間隔時(shí)間6秒~99分59秒(測(cè)量周期)
采樣次數(shù)1~999次 或 連續(xù)測(cè)試
地點(diǎn)設(shè)定99個(gè)地點(diǎn)
測(cè)量方式重復(fù)、單次、連續(xù)、計(jì)算
測(cè)量數(shù)據(jù)顯示時(shí)間1~10秒
測(cè)量數(shù)據(jù)顯示累計(jì)值∑ 差分值△及柱形圖
最大可測(cè)濃度10,000,000個(gè)/m3
計(jì)數(shù)效率50±20%(相對(duì)于最小可測(cè)粒徑附近的PSL粒子)
100±10%(相對(duì)于最小可測(cè)粒徑的1.5倍~2倍的PSL粒子)
(符合JIS B9921 和 ISO21501-4)
偽 計(jì) 數(shù)<1個(gè)/35min
粒徑分辨率15%以下(相對(duì)0.3μm的PSL粒子)
(符合JIS B9921 和 ISO21501-4)
氣    源內(nèi)置泵
顯示器4.3英寸彩色液晶 觸摸屏
通迅功能本    體USB(Host用于打印機(jī)、USB存儲(chǔ);Device用于與PC鏈接)
Ethernet、RS485(9600、19200、38400 baud)
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)媒    體內(nèi)存
數(shù)量、格式最大10,000個(gè)、CSV格式
顯示語(yǔ)言英文、日語(yǔ)
電   源AC100~240V
使用環(huán)境本    體15~35℃、0~85%RH (無(wú)結(jié)露)
外形尺寸W150 X H163 X D228 mm
重    量3.4kg


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